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Micro LED制程全解析

字體變大  字體變小 發(fā)布日期:2019-07-16  瀏覽次數(shù):3041
核心提示:盡管全球廠商持續(xù)投入資源合力研發(fā) Micro LED,但這個次世代的顯示技術(shù)仍面臨許多技術(shù)障礙與設(shè)備限制,導(dǎo)致生產(chǎn)成本始終難以降低
 盡管全球廠商持續(xù)投入資源合力研發(fā) Micro LED,但這個次世代的顯示技術(shù)仍面臨許多技術(shù)障礙與設(shè)備限制,導(dǎo)致生產(chǎn)成本始終難以降低,因此Micro LED在商業(yè)化的路上仍是走走停停。

然而為什么 Micro LED 顯示器生產(chǎn)上如此窒礙難行?在生產(chǎn)過程中面臨哪些困難,延宕了商業(yè)化時程?跟傳統(tǒng) LED 相比,Micro LED 的需求更為繁縟復(fù)雜,因為 Micro LED 芯片大小僅 LED 芯片的1%,小于100 微米。而這種極小零件不只開創(chuàng)了次世代科技,也帶來許多新挑戰(zhàn)。我們以下將分析 Micro LED 顯示器的生產(chǎn)過程,并指出不同步驟所面臨的瓶頸。

Micro LED 與 LED 同樣都以磊晶硅晶圓為基礎(chǔ),然而 Micro LED 磊晶的需求遠比傳統(tǒng) LED 來得嚴苛。由于 Micro LED 芯片大小不超過 100 微米,磊晶的波長一致性更是至關(guān)重要,晶圓若有不平整,便可能帶來芯片缺陷,增加后續(xù)制成開銷。不過當前現(xiàn)有的晶圓生產(chǎn)設(shè)備多為生產(chǎn)傳統(tǒng) LED 晶圓而制,幾乎無法滿足 Micro LED 晶圓制作的要求。

再者,磊晶晶圓上的芯片制程也相當關(guān)鍵,因為它可能影響到后續(xù)的晶圓結(jié)合與轉(zhuǎn)移等制程。為了滿足不同轉(zhuǎn)移方法上的需求,芯片廠商可能必須與轉(zhuǎn)移技術(shù)廠密切合作,才能提升總體良率與效率。

若要將 LED 芯片轉(zhuǎn)為顯示器,Micro LED 芯片必須先從藍寶石基板移除,轉(zhuǎn)移在另一個暫存基板上,再由此視功能與目的需求移到不同的背板上。由于芯片極小、數(shù)量龐大,轉(zhuǎn)移過程也就倍加困難,如果使用傳統(tǒng)的取放過程來轉(zhuǎn)移上百萬顆 LED,勢必極為耗時又加重生產(chǎn)成本。為加速轉(zhuǎn)移過程,目前已有多家廠商研發(fā)各種轉(zhuǎn)移技術(shù)處。除此之外,要將Micro LED芯片放到在目標基板上并準確排列,也是一項困難的挑戰(zhàn)。

在生產(chǎn)過程中持續(xù)檢測 Micro LED 芯片功能是否正常,以確保芯片效率并提高整體良率,也是制程中的重要步驟。若檢測到芯片瑕疵,則必須采用對應(yīng)的維修技術(shù),精準對癥下藥。芯片微小化則又加深了這些程序的困難度。為了解決這些問題,各家設(shè)備廠商正致力研發(fā)更有效及精準的與解決方案。

除了上述提到的挑戰(zhàn)之外,背板材質(zhì)、全彩解決方案與驅(qū)動 IC 設(shè)計也是 Micro LED 顯示器生產(chǎn)上遇到的瓶頸。而為解決這些技術(shù)障礙,業(yè)界廠商正積極在供應(yīng)鏈中進行垂直整合,并締結(jié)策略聯(lián)盟,以充分利用專業(yè)并采取更為全面的途徑。有惠于這些合作關(guān)系,許多技術(shù)上的突破于 2019 年相繼問世,帶 Micro LED 顯示器一步一步走向?qū)嶋H應(yīng)用。然而,在Micro LED正式邁向商業(yè)化之前,仍有待更創(chuàng)新的技術(shù)發(fā)展來解決生產(chǎn)制程中的難題,以求降低生產(chǎn)成本跟加速量產(chǎn)速度。

 

 
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